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Ciencia Popular | ¿Cómo verificar la pureza de los tubos de PFA ultralimpios?

2025-12-16

En el campo de la fabricación de chips semiconductores, la limpieza de los sistemas de tuberías para el transporte de productos químicos de ultraalta pureza afecta directamente el rendimiento del dispositivo. Como "vasos sanguíneos de oro" de los sistemas de suministro de productos químicos, los tubos de PFA ultralimpios se utilizan ampliamente.


El PFA, o perfluoroalcoxi alcano, es un material de alto rendimiento copolimerizado a partir de tetrafluoroetileno (TFE) y una pequeña cantidad de perfluoroalquil vinil éter. En comparación con el politetrafluoroetileno (PTFE) tradicional, el PFA no solo posee una excelente resistencia a la corrosión química, un bajo coeficiente de fricción y un buen aislamiento eléctrico (insensible a la temperatura), sino que también ofrece una mejor adhesión y una menor viscosidad de la masa fundida. Puede soportar temperaturas prolongadas de hasta 260 °C, lo que permite la producción de tuberías y componentes de estructura compleja mediante procesos como la extrusión por fusión.


Los materiales de PFA de alta pureza se someten a múltiples etapas de procesamiento de precisión, como la fusión, la extrusión y el moldeo, para convertirse en tubos terminados. Durante la fabricación, la microabrasión de las piezas metálicas de los equipos, las partículas en suspensión en el ambiente y las fluctuaciones en los parámetros del proceso pueden introducir nuevas fuentes de contaminación. Por lo tanto, verificar la pureza de los tubos de PFA ultralimpios es crucial.



La pureza de Tubos de PFA ultralimpios Se refleja principalmente en dos indicadores clave: la cantidad de lixiviación de iones metálicos y el nivel de liberación de partículas.

La industria de semiconductores impone requisitos de pureza extremadamente altos para los tubos de PFA ultralimpios. Por ello, suele adoptar pruebas de extracción acelerada en condiciones extremas para evaluar la fiabilidad del producto.


Los métodos de prueba para tubos de PFA Ultra-Clean son los siguientes:

01. Prueba de lixiviación de iones metálicos

En un laboratorio de sala limpia de clase 100, se utilizan equipos de alta sensibilidad como el ICP-MS/MS 8900 (espectrometría de masas en tándem con plasma acoplado inductivamente). El tubo de PFA se sumerge continuamente en ácido clorhídrico de alta concentración al 37 % a 85 °C para simular su funcionamiento a largo plazo en condiciones de alta temperatura y alta corrosión. El contenido de iones metálicos lixiviados se mide con precisión para cumplir con la norma SEMI F57.


02. Prueba de contenido de partículas

La distribución y el recuento del tamaño de partículas se utilizan como indicadores clave, medidos y controlados por un contador de partículas líquidas (LPC).


03. Prueba de residuos orgánicos

El carbono orgánico total (COT), la absorción UV y los residuos no volátiles (RVN) se controlan de acuerdo con las normas de reactivos correspondientes. Para los disolventes, se realizan pruebas adicionales que incluyen el contenido de agua (Karl Fischer, KF), el fondo UV y los residuos.
Para garantizar aún más la confiabilidad del producto bajo alta presión, alta temperatura y medios complejos, un sistema integral de evaluación del desempeño también incluye múltiples pruebas físicas y de apariencia:


04. Prueba de rendimiento físico

Incluye dureza, resistencia a la tracción, módulo elástico y pruebas de "estallido" a alta presión, para garantizar que el tubo de PFA mantenga la integridad estructural bajo alta presión y temperatura.


05. Inspección de apariencia

Comprobación del diámetro interior, diámetro exterior, espesor de pared, excentricidad, suavidad de la superficie, brillo (ausencia de impurezas, curvas o abrasiones) y conformidad del embalaje.


Solo después de pasar todas las pruebas y cumplir con los estándares, los tubos PFA Ultra-Clean pueden salir de la fábrica.

Actualmente, los fluoroplásticos de ultraalta pureza desempeñan un papel insustituible en los procesos de semiconductores. Sin embargo, el mercado de productos de PFA de alta gama ha estado dominado durante mucho tiempo por empresas internacionales. En los últimos años, con la creciente demanda de autonomía en la cadena industrial de semiconductores de China, se ha iniciado gradualmente un proceso de sustitución nacional en el campo de los productos fluoroplásticos de alta pureza. Entre ellos, componentes altamente estandarizados, como los tubos de PFA ultralimpios, se perfilan como los primeros productos en lograr avances tecnológicos.



A través de una continua investigación y desarrollo independiente y la optimización de procesos, Baoshili ha producido con éxito Tubos de PFA ultralimpios que cumplen con los requisitos de los procesos avanzados de semiconductores. Estos productos se han incorporado gradualmente a las cadenas de suministro de varios fabricantes líderes de chips, lo que ofrece una vía práctica para promover la sustitución nacional de materiales de alta gama.

 
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