Recientemente, una empresa líder en equipos de limpieza nacional anunció que su equipo SPM de un solo chip de alta temperatura ha superado con éxito la verificación de producto, lo que representa otro importante avance tecnológico en sus equipos de limpieza en húmedo. Gracias a la mejora continua del rendimiento de sus productos de material de flúor ultrapuro (PFA), Baoshili ha logrado cumplir con los estrictos requisitos de los equipos de limpieza SPM de un solo chip de alta temperatura para sistemas de tuberías.
Según datos de SEMI, el mercado global de equipos de limpieza de semiconductores alcanzará los 5 mil millones de dólares en 2023, y los equipos de limpieza de una sola oblea representarán más del 70 % del mercado total, manteniendo una cuota de mercado extremadamente alta. Con el continuo avance de la tecnología de semiconductores, el tamaño de los chips se reduce cada vez más y la sensibilidad a las impurezas ha aumentado significativamente. Asimismo, ha aumentado la importancia de los equipos SPM de una sola oblea de alta temperatura, que se están volviendo cada vez más populares en la industria.
En la fabricación de semiconductores, el proceso húmedo requiere procesar la oblea a una temperatura cercana a los 200 °C utilizando diversos productos químicos, como ácido fluorhídrico, ácido clorhídrico, ácido nítrico, ácido sulfúrico, ácido fosfórico, agua amoniacal y peróxido de hidrógeno acuoso. Los escenarios de aplicación de los equipos SPM de alta temperatura para una sola oblea son muy amplios.
Actualmente, los productos de material de flúor ultrapuro (PFA) de Baoshili se pueden configurar en el sistema de tuberías del equipo de limpieza húmeda SPM de un solo chip de alta temperatura.
El PFA, comúnmente conocido como PTFE fusible, es un copolímero de tetrafluoroetileno y una pequeña cantidad de perfluoroalquil vinil éter. Comparado con el PTFE, presenta mayor adhesión en estado fundido, menor viscosidad en estado fundido, soporta temperaturas de hasta 260 °C, excelente resistencia a la corrosión química, bajo coeficiente de fricción, buenas propiedades eléctricas y su aislamiento eléctrico no se ve afectado por la temperatura.
Los productos de material de flúor ultrapuro Baoshili tienen las siguientes ventajas:
Durante el proceso de limpieza a alta temperatura, los accesorios de tubería de PFA pueden soportar la corrosión de los fluidos de limpieza a alta temperatura, lo que garantiza un funcionamiento estable del equipo.
Durante el proceso de limpieza química, la excelente resistencia a la corrosión y la baja precipitación de iones metálicos de los accesorios de tubería de PFA pueden garantizar la ultrapureza de los productos químicos.
Como centro de la tubería, las juntas de PFA, con sus propiedades mecánicas especiales y estructura de sellado, se pueden combinar con accesorios de PFA para construir un sistema completo de suministro de productos químicos ultrapuros.
Como una de las pocas empresas nacionales que domina la tecnología de fabricación de PFA de grado semiconductor, la principal competitividad de Baoshili reside en la innovación tecnológica independiente. La empresa utiliza materias primas de alta pureza de Daikin y combina procesos independientes para lograr la producción a gran escala de tubos de PFA ultralimpios. Los productos no solo han obtenido certificaciones internacionales como la ISO 9001 y cumplen con los estándares SEMI, sino que también cuentan con más de 10 derechos de propiedad intelectual independientes. Es una de las empresas representativas en el mercado nacional de reemplazo de piezas ultralimpias.
Para mantener la uniformidad de los estándares de la industria, Baoshili también tiene el coraje de asumir responsabilidades sociales y tomar la iniciativa en la redacción del estándar de grupo "Tubo de politetrafluoroetileno (PFA) fundible ultrapuro de grado semiconductor" para liderar el desarrollo de la industria y acelerar el proceso de sustitución doméstica; con la investigación y el desarrollo dedicados de Baoshili, los productos de material de flúor ultrapuro, como los accesorios de tubería de PFA ultralimpios y los conectores de PFA ultralimpios, han pasado la verificación de producto de muchas empresas líderes de semiconductores y han mantenido un suministro estable.
A medida que la fabricación de semiconductores avanza hacia procesos más precisos y exigentes, los materiales de PFA ultrapuros de Bioshine pueden proporcionar soluciones fiables de flúor ultrapuro para equipos SPM monochip de alta temperatura mediante la innovación de materiales y aplicaciones de ingeniería. En el futuro, a medida que la precisión del proceso siga aumentando, Bioshine seguirá incrementando su inversión en investigación y desarrollo tecnológico, seguirá ofreciendo productos de flúor ultrapuro de alta calidad y promoverá el desarrollo acelerado de semiconductores nacionales.