Con el avance continuo de la tecnología de fabricación de chips, las obleas se vuelven cada vez más sensibles al contenido de impurezas. Durante el proceso de fabricación de obleas, las impurezas introducidas tienen un impacto crucial en el rendimiento del chip y la eficiencia de la producción. Por tanto, los equipos de limpieza avanzados desempeñan un papel clave en la producción de semiconductores.

Descripción general de ACM

Fundada en 2005, ACM (Shanghai) siempre ha sido una empresa líder en la industria de equipos de circuitos integrados y fue calificada como una de las "cinco principales empresas de equipos de semiconductores de China". Su línea de productos es extensa e incluye equipos de limpieza húmeda de tanques y obleas individuales, equipos de galvanoplastia, etc. Integra investigación y desarrollo, diseño, fabricación y ventas, enfocándose en brindar soluciones de procesos de alto rendimiento y bajo consumo de energía a los fabricantes de chips semiconductores.

Con la primera tecnología de limpieza megasónica SAPS/TEBO del mundo y la tecnología de limpieza combinada de tanque de oblea única Tahoe, Shengmei ha resuelto el problema de la limpieza de la contaminación orgánica y las partículas después del grabado de la oblea, y ha mejorado la eficiencia de producción y el rendimiento del producto de semiconductores. , uno de los pocos proveedores de equipos específicos de semiconductores competitivos a nivel internacional en China continental.

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Proceso de limpieza de semiconductores
El papel clave del tubo de PFA Ultra-Clean

En el proceso de fabricación de semiconductores, la limpieza en húmedo es un eslabón crucial. Las tecnologías de alta tecnología, como la onda megasónica Space Alternating Phase Shift (SAPS), desarrollada independientemente por ACM, combinadas con agua funcional, pueden eliminar de manera más eficiente impurezas como partículas finas y fotorresistentes en la oblea.

El agua funcional es una solución acuosa que contiene gases disueltos específicos, combinados con una pequeña cantidad de productos químicos, y utiliza vibraciones de alta frecuencia generadas por la tecnología megasónica SAPS para mejorar en gran medida la eficiencia de la limpieza.

La importante función del tubo Baoshili Ultra-Clean PFA es transportar agua funcional, garantizar la alta pureza y la transmisión libre de impurezas de agua funcional y proteger el proceso de producción de ACM (Shanghai).

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El único proveedor nacional de tubos de PFA
Tres ventajas principales de Baoshili

Vale la pena señalar que Baoshili es el único proveedor nacional de tubos de PFA de ACM (Shanghai). A través de una continua investigación y desarrollo de tecnología independiente y un excelente rendimiento del producto, ha roto el status quo de las principales empresas de semiconductores que solo compran tubos de PFA importados y ha tomado la iniciativa en la realización del reemplazo nacional de tubos de PFA de grado semiconductor.

En la actualidad, el tubo de PFA ultralimpio Baoshili tiene tres ventajas principales:

1. Ventajas de rendimiento: utiliza materias primas importadas de alta pureza Daikin AP 231SH y se produce a través de una extrusora de tubos de PFA resistente a la corrosión de alta precisión para garantizar la alta pureza y Excelente desempeño del producto.
2. Pruebas de calidad: en el laboratorio de 100 niveles, se utilizan equipos de última generación, como Agilent ICP-MS/MS 8900, para realizar pruebas de calidad del producto para garantizar la producción estandarizada de cada lote de productos terminados.
3. Investigación y desarrollo independientes de tecnología de producción: contar con un proceso de producción completo para garantizar la estabilidad y confiabilidad de los productos.

Con el rápido desarrollo de la industria nacional de semiconductores, como principal fabricante nacional de PFA, los tubos Baoshili Ultra-Clean PFA se están utilizando ampliamente en diversos eslabones de producción de semiconductores, proporcionando piezas y componentes especializados para las principales empresas nacionales de semiconductores y promoviendo conjuntamente la modernización industrial.